原位加热样品杆是一种可用于透射电子显微镜的表征 附件，采用芯片式加热，加热源使用化学性能稳定，且透 光性好的SiC材料，最高温度可达1200℃，加热芯片不仅 有SiN支持膜还有C支持膜、无支持膜可选，其中C支持膜 的加热芯片适用于粉体材料，有效降低背底对成像的影 响，无支持膜的加热芯片适用于需要FIB转移的块体样品， 几种加热芯片均可以实现温度稳定情况下的高分辨成像； 同时Protochips双倾加热杆预留了6个电极，后期可以通过 模块升级到热电功能，无需更换样品杆。

54-E139

FUSION SELECT

Protochips