扫描电子显微镜(SEM)利用细汇聚电子束在样品表面 的扫描可以实现样品表面形貌及成分的分析。热场发射扫 描电子显微镜探针电流大，配备电制冷能谱仪、电子背散 射衍射仪、背散射探测器及可伸缩分割式扫透电子探测器 等，具备方向调整、构图和形貌衬度成像功能，可进行 EDS、EBSD、BSE、STEM等分析。对金属材料、纳米材 料、催化剂、高分子材料等样品的形貌进行超高分辨观 察，并对样品微观区域进行定性定量分析。
54-E104
Apero S LoVac
Thermo Fisher Scientific
加速电压：200 V～30 kV
电流范围：1 pA～400 nA
电子束分辨率
高真空模式：0.8 nm@30 kV (STEM)
1.0 nm@15 kV; 1.4 nm@1kV
低真空模式：1.8 nm@3 kV; 1.2 nm@15 kV
放大倍率：30～1000000 x
能谱成分检测范围：Be(4)～Am(95)
能量分辨率
Mn Ka保证优于127eV (@计数率10,000cps)
晶体有效活区面积≥70mm2
电子背散射衍射仪扫描速度：>945点/秒
取向测量精度：优于0.1度
热场发射扫描电子显微镜探针电流大，配备电制冷能谱仪、电子背散射衍射仪、背散射探测器及可伸缩分割式扫透电子探测器等，具备方向调整、构图和形貌衬度成像功能，可进行EDS、EBSD、BSE、STEM等分析。
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