扫描电镜（SEM）作为材料微区显微结构观察和成分 分析的重要工具，主要是利用电子束在样品表面扫描时激 发出来的物理信号成像来观察样品的表面形态。冷场发射 扫描电镜由于其较小的汇聚电子束和较小的电子能量，具 有较高的分辨率和低电压的性能，能够满足纳米材料高分 辨观察的需求。对金属材料、纳米材料、催化剂、高分子 材料等样品的形貌进行超高分辨观察，并可对样品微观区 域成分、结构取向进行定性半定量分析。
54-E105
S4800
Hitachi
二次电子分辨率
1.0 nm @15 kV
2.0 nm @ 1 kV
放大倍数：30~ 800000X
电子枪：冷场发射电子枪
加速电压：0.5 - 30 kV（最小步进0. 1 kV）
能谱仪：布鲁克XFlash 7
元素分析范围：Be4～Cf98
最大输出计数率：≥600,000kcps
能量分辨率：Mn-Ka半峰宽保证优于129eV @ 130,000cps
探测器有效面积≥60mm
1.冷场发射电子枪在低像散低电压高分辨成像方面有优势；
2.配备电制冷能谱仪，可获得样品表层的微区点线面
元素的定性及半定量分析；
3.高位二次电子探测器（应用ExB专利技术）；
4.减速模式降低样品荷电。
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