扫描电镜作为材料微区显微结构观察和成分分析的重要工具，主要是利用电子束在样品表面扫描时激发出来的 物理信号成像来观察样品的表面形态。冷场发射扫描电镜 由于其较小的汇聚电子束和较小的电子能量，具有较高的 分辨率和低电压的性能，能够满足纳米材料高分辨观察的 需求。对金属材料、纳米材料、催化剂、高分子材料等样 品的形貌进行超高分辨观察，并可对样品微观区域成分、结构取向进行定性半定量分析。

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Regulus 8100

Hitachi