扫描电子显微镜(SEM)是利用细聚焦的电子束轰击样 品表面，通过电子与样品相互作用产生二次电子、背散射 电子等信号对样品表面或断口形貌及成分进行观察和分 析。钨灯丝扫描电子显微镜具有总发射电流和束斑较大、 相对稳定、操作便捷、维持费用较低等特点，常用于对固 体物质进行高分辨形貌观察及微区元素定性定量分析。
54-E105
Flex SEM 1000 II
Hitachi
二次电子分辨率
高真空模式分辨率4.0 nm@20 kV,15.0 nm@1 kV
放大倍率范围: 16-800000×
加速电压: 0.3-20 kV
背散射电子分辨率:低真空模式分辨率5.0 nm@20 kV
能谱探测器
分析型SDD硅漂移电制冷探测器
有效面积: ≥30 mm2
能谱元素分析范围: B5～Cf 98
能量分辨率:Mn Ka保证优于129 eV(@计数率50,000 cps)
对材料表面微区进行定性定量分析，在材料学、化学、生物学、医学、地矿学、考古学、食品学、微电子工业等领域有广泛应用，是现代科学研究的重要手段。
